[나노텍 2024] 순수 오존 발생기 및 표면 개질 코팅 시스템 – 메이덴 나노프로세스 이노베이션
다름이 아니라, 저희 회사는 메이덴 나노프로세스 이노베이션입니다. 반갑습니다. 저희는 메이덴샤로 불리던 시기부터 20년 정도 동안 오존 연구개발을 해왔으며, 약 3년 전에 메이덴샤 나노프로세스 이노베이션으로 사업을 설립했습니다. 저희 주력 제품은 이 순수 오존 발생기 형태인 고농축 오존 발생기입니다. 이 고농축 순수 오존을 이용하여 어떤 일을 할 수 있는지 설명해드리겠습니다.
먼저, 에틸렌 가스와 순수 오존을 혼합하면 쉽게 OH 라디칼을 생산할 수 있습니다. 이 OH 라디칼을 표면 처리에 활용할 수 있으며, 주로 개질, 침습, 접착을 위한 전처리 등 빠르고 손상 없는 안정적인 처리에 활용됩니다. 주요 응용분야는 반도체 표면 처리, 접착 기술, 유리 등 기반 소재입니다.
순수 오존 기체로 할 수 있는 두 번째 것은 ALD 증착입니다. 순수 오존 사용의 두 가지 장점은 저온에서 사용 가능하다는 점과 다양한 응용 분야에 활용될 수 있다는 점입니다. 저희의 오존 기술은 필름 증착에서도 실온부터 150°C 범위 내에서 저온 증착이 가능합니다.
두 번째는 마이크로 채널로, 순수 오존 기체가 진입이 가능해 깊은 깊이까지 스며들 수 있습니다. 이 깊은 스며들임은 높은 깊이의 필름 성장을 가능하게 합니다. 주요 응용분야는 반도체, 필름, 유리 등 저온 내성 기반 소재입니다.
순수 오존을 이용한 표면 처리와 필름 증착을 수행할 수 있으니 관심이 있으시면 언제든지 저희에게 문의해주십시오.Generated by OpenAI
